近日，杭州富加鎵業科技有限公司在大尺寸氧化鎵外延技術領域取得新進展。公司率先開展12英寸氧化鎵MOCVD外延技術研發，并成功將此前成熟的8英寸氧化鎵MOCVD外延工藝外推至12英寸，實現了大尺寸氧化鎵外延技術的重要突破。
8英寸（左）與12英寸（右）氧化鎵外延厚度分布對比
從目前公布的結果來看，此次制備的12英寸氧化鎵外延薄膜厚度均勻性優于6%，外延后晶圓表面自然平整度較高，整體質量表現良好。這意味著氧化鎵MOCVD外延工藝在更大尺寸晶圓上的可擴展性得到進一步驗證，也為后續12英寸氧化鎵外延片的規模化制備和產業應用奠定了基礎。
事實上，富加鎵業此前已經在8英寸氧化鎵同質外延方面積累了較好的技術基礎。2026年3月，公司制備出厚度達10微米級的8英寸氧化鎵同質外延片，厚度均勻性優于3%，表面粗糙度RMS低于1 nm，XRD搖擺曲線半高寬（FWHM）僅64.8弧秒，相關外延片已經能夠直接用于功率器件制備。此次進一步向12英寸拓展，也體現出其大尺寸氧化鎵外延工藝持續升級的技術路徑。
對于氧化鎵產業而言，大尺寸化不僅意味著晶圓尺寸的擴大，更直接關系到器件制造成本和未來規模化生產效率。理論上，12英寸晶圓的面積約為8英寸的2.25倍，在相同工藝條件下能夠獲得更多有效芯片，從而提高單片產出并降低單位器件制造成本。因此，12英寸氧化鎵外延技術的推進，有望進一步加速氧化鎵材料從研發驗證走向產業化應用。
目前，富加鎵業已形成覆蓋6英寸、8英寸襯底，并向12英寸延伸的產品布局，同時具備氧化鎵單晶、襯底及外延等環節的技術能力。隨著12英寸外延技術持續成熟，公司正在進一步完善“裝備—襯底—外延”全產業鏈布局，為下游氧化鎵功率器件企業提供更完整的材料解決方案。此次12英寸外延突破，也意味著氧化鎵大尺寸化進程正在加速。
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