杭州富加鎵業(yè)科技有限公司通過官方微信發(fā)布消息，企業(yè)推出的(011)面氧化鎵單晶襯底現(xiàn)已形成穩(wěn)定批量交付能力，產(chǎn)品可持續(xù)供給海內外科研機構與半導體器件企業(yè)，補齊國內氧化鎵多晶面襯底規(guī)模化供給短板。
官方稿件披露，本次批量供貨的主力規(guī)格為2英寸(011)面氧化鎵襯底，同步開放小片規(guī)格現(xiàn)貨供應，同時支持4英寸襯底、2至4英寸氧化鎵外延片定制化訂單。配套產(chǎn)品規(guī)格參數(shù)形成標準化體系，襯底厚度、翹曲度、表面粗糙度、位錯密度等指標均完成量產(chǎn)級工藝管控，適配高壓功率器件、射頻芯片、紫外探測器件等不同研發(fā)與中試場景需求。
依托自研晶體生長與精密拋光整套工藝，該款襯底解決了(011)晶面氧化鎵晶體易開裂、表面加工一致性差等量產(chǎn)難點。此前第三方實驗室完成材料性能檢測，襯底晶體完整性、電學均勻性達到國際同類產(chǎn)品水準，已收到多家國內重點實驗室、功率半導體企業(yè)的穩(wěn)定采購訂單。
公開資料顯示，#富加鎵業(yè) 2019年底落地杭州富陽，是國內最早布局氧化鎵產(chǎn)業(yè)化的企業(yè)，依托中科院上海光機所技術成果開展超寬禁帶半導體材料研發(fā)生產(chǎn)，主營氧化鎵單晶襯底、MOCVD/MBE同質外延片、VB法與EFG法晶體生長裝備。企業(yè)建成國內首條萬片級氧化鎵襯底產(chǎn)線，產(chǎn)品覆蓋2英寸至12英寸多尺寸、多晶向襯底，擁有近50項國內外授權專利，目前牽頭編制氧化鎵領域首項國家標準，通過ISO9001質量體系認證。
產(chǎn)能與技術迭代層面，企業(yè)2026年持續(xù)推進大尺寸晶體突破，3月對外公布完成全球首款12英寸氧化鎵單晶制備；同期自研VB法長晶裝備完成多家客戶現(xiàn)場驗收，實現(xiàn)氧化鎵長晶設備國產(chǎn)化對外供貨。產(chǎn)品線已覆蓋26款常規(guī)襯底產(chǎn)品，可根據(jù)客戶需求定制導電型、半絕緣型襯底及配套外延工藝方案。
產(chǎn)業(yè)鏈配套方面，富加鎵業(yè)同步搭建襯底-外延一體化交付體系，自主掌握低缺陷同質外延技術。此前其自研外延片已支撐九峰山實驗室研發(fā)出擊穿電壓超9000V的氧化鎵MOSFET，刷新全球器件耐壓紀錄。本次(011)面襯底批量交付，進一步豐富企業(yè)產(chǎn)品矩陣，拓寬國內氧化鎵上游材料供給選擇。
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