據(jù)韓媒thelec報道,韓國晶圓廠和顯示器生產設備制造商AP Systems近日表示,將為維信諾(Visionox)位于合肥的第8.6代OLED生產線V5獨家供應關鍵設備——準分子激光退火(ELA)和激光剝離(LLO)系統(tǒng)。
維信諾此次在合肥V5園區(qū)投資高達550億元人民幣,目標是建設一條采用其自主研發(fā)的ViP(Visionox in-house Pixelation)技術的產線。
目前,F(xiàn)MM長期被日韓企業(yè)壟斷,不僅成本高昂,且在大尺寸OLED生產中存在蒸鍍效率低、良率難控等問題。而ViP是維信諾自主研發(fā)的“智能像素化”技術,核心在于用半導體光刻工藝取代傳統(tǒng)的精細金屬掩模(FMM),實現(xiàn)無掩模、RGB自對位像素化的AMOLED生產方案。
該技術的最大亮點在于無需使用傳統(tǒng)的精細金屬掩模(FMM),即可實現(xiàn)高精度RGB像素圖案化。ViP技術被定位為 AMOLED+時代的升級平臺,兼容多種顯示技術(單層、Tandem 疊層等),可為從1?英寸到80?英寸的全尺寸面板提供統(tǒng)一的工藝路徑。
不過,要實現(xiàn)ViP技術的高效量產,離不開上游核心設備的支持。AP Systems將提供ELA設備,用于將非晶硅轉變?yōu)槎嗑Ч琛T摴に嚳蓪㈦娮舆\動速度提高百倍以上,這對于高分辨率OLED面板至關重要。
而LLO工藝用于將玻璃基板與柔性OLED分離,主要通過利用激光束照射在聚酰亞胺基板和玻璃基板之間來實現(xiàn)。這一過程對激光能量控制精度要求極高,稍有偏差便可能損壞沉積的有機材料,直接影響面板良率與壽命。
AP Systems還表示,它不僅僅是V5項目的ELA設備唯一供應商,此前其也已為維信諾的V1、V2、V3產線提供同類設備。