高純氟化氫是芯片晶圓制造環(huán)節(jié)不可或缺的核心原料，被譽為半導體產(chǎn)業(yè)的"精密化學刻刀"……
7月19日，濱化集團在山東濱州舉行電子級高純氟化氫氣體投產(chǎn)暨新產(chǎn)品發(fā)布會，宣布該集團旗下大晟芯材成功實現(xiàn)6N級（99.9999%）高純氟化氫規(guī)模化量產(chǎn)。
產(chǎn)品關(guān)鍵指標達國際一流水準，一舉填補山東省高純氟化氫產(chǎn)能空白，為國內(nèi)先進制程芯片制造供應鏈自主可控再添關(guān)鍵支撐。
一個"9"背后的技術(shù)鴻溝
高純氟化氫是芯片晶圓制造環(huán)節(jié)不可或缺的核心原料，被譽為半導體產(chǎn)業(yè)的"精密化學刻刀"，在干法蝕刻、腔體清洗等核心工序中扮演關(guān)鍵角色。
6N級（99.9999%）高純氟化氫是適配28納米及以下所有先進制程的必需品。濱化集團特種化學品事業(yè)部總經(jīng)理劉騰在發(fā)布會上解釋："別小看這后面多出來的一個'9'——在芯片制造中，金屬雜質(zhì)含量哪怕只高出幾個ppb（十億分之一），都可能導致芯片良率大幅下降。"
長期以來，國內(nèi)多數(shù)產(chǎn)品普遍停留在5N級（99.999%），那一個"9"的純度差距，背后是金屬雜質(zhì)含量對芯片良率的直接制約。西方頭部半導體材料企業(yè)壟斷了全球約80%的6N級高純氟化氫市場份額，當前這類超高純產(chǎn)品的市場價格已在200萬元/噸以上。
四大核心技術(shù)攻克"卡脖子"難題
此次量產(chǎn)的技術(shù)突破并非單點攻關(guān)，而是工藝、工程、檢測、充裝一套全流程系統(tǒng)創(chuàng)新成果。濱化集團攻克了多重精餾耦合、低析出設(shè)備選材、鋼瓶潔凈防護、微量雜質(zhì)精準檢測四大核心技術(shù)，將關(guān)鍵金屬離子雜質(zhì)含量控制在1ppb以下，解決了生產(chǎn)、儲運全鏈條二次污染難題。
在工藝層面，項目團隊首創(chuàng)了電子級氟化氫反應-精餾耦合提純新工藝。氟化氫中的雜質(zhì)如水、二氧化碳和含氧有機物互溶，難以分離。濱化通過設(shè)計多重精餾耦合系統(tǒng)，在特定壓力梯度下實現(xiàn)碳氧雜質(zhì)的深度脫除，相當于造了一套"分子級別的分揀機"。
在檢測層面，濱化自主研發(fā)出密閉精準取樣系統(tǒng)，極大程度削減了環(huán)境本底的干擾因素，使得所獲數(shù)據(jù)能高度保證絕對真實。過去很多國產(chǎn)材料雖然純度達標，但因為檢測手段落后，無法證明自己達標，從而被下游客戶拒之門外。
50噸/年充裝線取得全套資質(zhì)
從實驗室走向產(chǎn)業(yè)化的最后一環(huán)也已經(jīng)打通。濱化已完成50噸/年高純氟化氫鋼瓶充裝線的建設(shè)與調(diào)試，并于7月16日取得山東省特種設(shè)備檢驗研究院頒發(fā)的氣瓶充裝許可證，具備了完整的生產(chǎn)、充裝、銷售資質(zhì)，實現(xiàn)了從實驗室到產(chǎn)業(yè)化的閉環(huán)。
依托過硬產(chǎn)品品質(zhì)，濱化已面向行業(yè)重點企業(yè)開展產(chǎn)品推介。6N級高純氟化氫市場附加值高，該項目落地將有效提升區(qū)域化工產(chǎn)業(yè)向高端電子化學品轉(zhuǎn)型的核心競爭力。
值得注意的是，濱化集團在高端半導體材料領(lǐng)域迎來的是雙重里程碑。除6N級高純氟化氫氣體外，其超高純電子級氫氟酸項目也通過了由中科院院士帶隊的專家組評審，一致認定技術(shù)和產(chǎn)品達到國際先進水平。
該產(chǎn)品品質(zhì)優(yōu)于國際通用SEMI-G5標準，已經(jīng)成功導入14納米先進制程的芯片生產(chǎn)線，得到了行業(yè)頭部企業(yè)的認可。
氫氟酸是晶圓清洗核心耗材，與高純氟化氫氣體（氣態(tài)）形成互補，共同構(gòu)成芯片制造刻蝕與清洗環(huán)節(jié)的"化學雕刻刀"組合。
半導體材料自主可控的"北鯤計劃"
濱化集團將此次突破納入其"北鯤計劃"科創(chuàng)戰(zhàn)略。該項目由濱化聯(lián)合天津大學共同攻關(guān)，是山東省重點研發(fā)的重大科技創(chuàng)新工程，配套421長期研發(fā)投入規(guī)劃。
濱化集團成立于1968年，是國內(nèi)氯堿化工行業(yè)龍頭企業(yè)之一。近年來，公司持續(xù)向高端新材料領(lǐng)域轉(zhuǎn)型，推出北鯤計劃科創(chuàng)戰(zhàn)略，聯(lián)合天津大學化工學院共建實驗室，持續(xù)數(shù)年攻關(guān)高純提純核心工藝。
后續(xù)，濱化在陽信規(guī)劃的1.7萬噸規(guī)模高端電子化學品生產(chǎn)基地建成后，還將形成完整的電子化學品產(chǎn)業(yè)集群，進一步夯實國產(chǎn)半導體材料供應鏈。
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