“羲之”電子束光刻機的誕生標志著中國在高端半導體設備國產化方面取得了重大突破，為國產芯片的研發提供了堅實的基礎，也為未來科技制高點的搶占提供了裝備支持。
近日，作為杭州城西科創大走廊的浙江大學成果轉化基地首批簽約孵化項目之一，全國首臺國產商業電子束光刻機“羲之”已進入應用測試，其精度比肩國際主流設備。該設備由浙江大學余杭量子研究院自主研發，能夠實現納米級精度，標志著量子芯片研發有了“中國刻刀”。
圖源：杭州市經濟和信息化局官微
據悉，這臺設備取名“羲之”，寓意其精密“書寫”能力與書法家王羲之的毛筆神韻相契合。該技術團隊負責人表示，依托省重點實驗室，研究院自主研發的新一代100kV電子束光刻機“羲之”已正式走向市場，“這不是普通的機器，而是一支能在頭發絲上雕刻出整座城市地圖的‘納米神筆’！”
此前，此類設備受國際出口管制，國家實驗室、中科大、之江實驗室等國內頂尖科研機構長期無法采購，“羲之”的落地徹底打破這一困局。
“羲之”電子束光刻機的誕生，不僅打破了國際出口管制對高端半導體設備的限制，還為國內科研機構和企業提供了自主可控的芯片研發工具。
該設備能夠以0.6納米的精度在硅基上“手寫”電路，線寬8納米，無需傳統光刻所需的掩膜版，極大提升了芯片研發初期的效率。此外，該設備的定價低于國際均價，已與多家科研機構展開接洽，顯示出其在市場上的潛力。
從技術背景來看，“羲之”電子束光刻機的誕生并非孤立事件，而是科技創新與產業創新“兩新融合”的成果。浙江大學、校友企業總部經濟園和地方政府的合作，為科技成果的轉化提供了支持，推動了從實驗室樣品到量產產品的全流程發展。
“羲之”電子束光刻機的誕生標志著中國在高端半導體設備國產化方面取得了重大突破，為國產芯片的研發提供了堅實的基礎，也為未來科技制高點的搶占提供了裝備支持。
責編：Jimmy.zhang
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